阵列微结构光学元件广泛用于各种光束匀化场合，而常规的加工方法难以满足大矢高凸柱面阵列的精度要求。本文采用超精密车削成型法，分析了影响金刚石车削的主要因素，设计了顺序搜索法和二分搜索法寻找车削轨迹，并对比了两种方法的优缺点，结合Matlab软件用二分搜索法成功找到车削轨迹及数控程序，并在超精密车床上进行了车削实验，得到了表面轮廓误差在135 nm的大矢高阵列微结构。证明了二分搜索法能够准确获得车削轨迹，并且此法可同时适用于球面轮廓和非球面轮廓，具有重要的工程应用价值。
大矢高凸柱面的超精密车削轨迹计算方法研究
作者单位信息
通信作者： liyun@ioe.ac.cn
出版日期：2021年3月22日
摘要
参考文献
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引用本文：
雷茸粮, 李云, 林妩媚, 等. 大矢高凸柱面的超精密车削轨迹计算方法研究[J]. 光电工程, 2021, 48(3): 200192.
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