本文利用材料热膨胀系数不同的性质设计了一种可以对小面积热源进行高灵敏检测的温度传感器。该传感器的温度敏感元件是一个上表面镀有金属的氮化硅悬臂梁。由于金属与氮化硅的热膨胀系数不同，因此当悬臂梁所在的环境温度发生变化时，悬臂梁会向温度梯度变化快的方向发生弯曲，并且弯曲量与温度成正相关关系。实验中通过光杠杆测量梁的弯曲量，用标定的方式建立温度与探测器输出电压之间的关系。结果显示，该传感器的灵敏度可以达到4.86 mV/℃，以及0.04 ℃的温度分辨力。为验证传感器对小面积热源进行测量的适用性，我们利用NaYF4材料受激发热的性质，对不同面积热源产生的热量进行测量。结果显示，当发热面积约为0.07 mm2时依然可以进行准确测量，实现了对小面积热源温度进行精确测量的目的。
用于小面积热源测量的高灵敏悬臂梁温度传感器
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通信作者： jintao@usst.edu.cn
出版日期：2020年6月15日
摘要
参考文献
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基金项目：
国家自然科学基金资助项目(510605297, 51705324)；上海市自然科学基金资助项目(16ZR1423000)
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引用本文：
邢志明, 金涛, 郑璐璐. 用于小面积热源测量的高灵敏悬臂梁温度传感器[J]. 光电工程, 2020, 47(6): 190296.
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