光电工程
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2018年45卷第1期
封面论文:孟诗,陈磊,朱文华,等. 大口径光学元件瞬态波前检测[J]. 光电工程,2018,45 (1):170536.

为瞬态测量大口径光学元件波前,南京理工大学陈磊团队提出一种基于斜入射结构的近红外反射式错位点衍射干涉原理的 Φ400 mm瞬态波前检测方法。该方案将待测光分成两束互相错位的参考光与测试光,从而在干涉图中引入高线性载频,采集到对比度良好的干涉图后,利用傅里叶变换相位解调法从单幅干涉图中提取待测波前相位,实现瞬态波前动态测量。实验光路总长近 20 m,极易受气流的影响,且由于气流干扰随时间变化,该系统本身可以看作是大口径光学元件瞬态波前发生与检测装置。测试结果与 SID4 波前传感器比较,波前均方根(RMS)小于 1/50 λ,可知所提方法可以实现大口径瞬态波前的高分辨率与高精度检测。为瞬态测量大口径光学元件波前,提出一种基于斜入射结构的近红外反射式错位点衍射干涉原理的 Φ400 mm瞬态波前检测方法。该方案将待测光分成两束互相错位的参考光与测试光,从而在干涉图中引入高线性载频,采集到对比度良好的干涉图后,利用傅里叶变换相位解调法从单幅干涉图中提取待测波前相位,实现瞬态波前动态测量。实验光路总长近 20 m,极易受气流的影响,且由于气流干扰随时间变化,该系统本身可以看作是大口径光学元件瞬态波前发生与检测装置。测试结果与 SID4 波前传感器比较,波前均方根(RMS)小于 1/50 λ,可知所提方法可以实现大口径瞬态波前的高分辨率与高精度检测。
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  综述  |  TN959.98