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科研论文
| TN23
表面等离子体在氧化镓基紫外探测器中的应用
石雄林
,
刘宏宇
,
候爽
等
局域表面等离子体共振是一种改善光电探测器性能的有效方法。本文为了提高beta-氧化镓(β-Ga2O3)薄膜金属-半导体-金属(MSM)日盲紫外探测器的性能,提出了在beta-氧化镓薄膜表面利用快速热退火的方法...
First published at: Feb 22, 2018
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ESI
doi:
10.12086/oee.2018.170728
光电工程
第45卷 第02期
, 页码:170728
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